前面板
開(kāi)關(guān):
按下燈亮,開(kāi)啟集成氣路系統。
請確保在按下開(kāi)關(guān)之前連接后面板220V AC 供電線(xiàn)。
人機交互界面:
采用觸摸屏控制氣路系統內部所有單元,包括MFC,電磁截止閥,壓力傳感器等。
USB接口:
功能1:允許用戶(hù)導出實(shí)時(shí)記錄的數據,并用于分析處理。
功能2:如插入接口的U盤(pán)中有版本軟件,系統會(huì )提示用戶(hù)自動(dòng)升級,允許用戶(hù)遠程界面升級。
用戶(hù)在升級程序前請與廠(chǎng)商技術(shù)支持聯(lián)系確認所升級程序是否可用。
以上是由曉韜科技發(fā)表內容,如有需要,歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)!
右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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標準氣配氣儀系統工作原理
本裝置是一個(gè)組份氣體通過(guò)穩壓系統穩壓,通過(guò)調節閥調節,流量計計量加入另一個(gè)組份氣體中,獲得穩定的具有一定比例的混合氣。在按需調準。
設備具有壓力報警裝置.氣體壓力低于工作壓力時(shí),報警裝置報警,提醒操作員更換氣瓶或處理問(wèn)題.
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動(dòng)態(tài)稀釋儀
動(dòng)態(tài)稀釋儀由流量控制系統、氣路控制系統和計算機控制系統組成,可將一瓶已知濃度的標氣用稀釋氣稀釋成不同含量的標準氣體濃度梯度。該過(guò)程完全自動(dòng)化操作,大幅度減少工作量并節約配氣時(shí)間。
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