旋進(jìn)渦輪流量計
當流體通過(guò)螺旋形導流葉片組成的起旋器后,流體被強迫圍繞中心線(xiàn)強烈地旋轉形成旋渦輪,通過(guò)擴大管時(shí)旋渦中心沿一錐形螺旋形進(jìn)動(dòng)。在一定的流量(雷諾數)范圍內,旋渦流的進(jìn)動(dòng)頻率與流經(jīng)旋進(jìn)渦流量傳感器處流體的體積流量成正比。旋進(jìn)旋渦流量計的理論流量方程為:
式中,qf為工況下的體積流量,m3/s;f為旋渦頻率,Hz;K為流量計儀表系數,P/m3(p為脈沖數)。
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選擇氣體流量控制器時(shí)需要注意什么?
例如,真空等離子清洗機需保證真空反應腔體內的壓力穩定,所以選擇好氣體流量控制器后,還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會(huì )選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭,以此來(lái)滿(mǎn)足工藝氣體真空管路的密封。真空等離子清洗機在處理一些特殊材料的時(shí)候,可能會(huì )把液態(tài)單體作為放電介質(zhì),就必須使用手動(dòng)浮子流量計作為流量控制器;對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計;對真空環(huán)境要求比較苛刻的,建議使用高密封性的浮子流量計。如需對液態(tài)單體進(jìn)行流量監控,也可增加氣液流量計,但需考慮單體的測量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素,可視情況進(jìn)行選擇。
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你對氣體流量控制器了解多少?
注:?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min,0℃,1atm”等同;單位SLM和“L/min,0℃,1atm”等同。通入不同的工藝氣體,建議選擇對應氣體的專(zhuān)用質(zhì)量流量控制器,以保證輸入氣體的穩定和計量;不同的工藝氣體,分子大小不同、化學(xué)特性不同,使用同規格的質(zhì)量流量控制器會(huì )存在流量誤差和安全隱患。
如使用的是常規工藝氣體,也可選擇一種氣體作為標準,只需保證流量穩定即可;但是對于H2、CF4等特殊氣體,可燃具有腐蝕性的氣體,必須使用專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器。
實(shí)驗型真空等離子清洗機機,通常對流量控制要求不是非常嚴格,純手動(dòng)操作的設備,也會(huì )選用手動(dòng)浮子流量計。
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