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2021-06-21







電磁流量計流體控制注意事項

在工作時(shí)，鉑絲檢測元件用直流電流加熱，溫度大概比液體溫度高出20°c左右，流量計的流體流經(jīng)發(fā)生體時(shí)，在發(fā)生體兩側產(chǎn)生交變的壓力差，在此壓力差的作用下，流體產(chǎn)生吸入、吹出作用，導致熱絲溫度降低，引起它的電阻減小，從而破壞測量電橋平衡，輸出電壓信號。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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 使用質(zhì)量流量控制器注意事項

使用質(zhì)量流量控制器有四怕:

怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會(huì )堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;

第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì )造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;

第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進(jìn)行干燥處理;

第四怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。

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