FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應用系統中,FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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流體系統
流體系統是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對應的流動(dòng)元件集合,各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對應。流體介質(zhì)是流體系統中的流動(dòng)物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導能力及其流體的作功能力。流體系統是由各種流動(dòng)元件相互連接而成,流動(dòng)元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運元件與之相連,其流量既可能流進(jìn),也可能流出。
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使用質(zhì)量流量控制器注意事項
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會(huì )堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì )造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。
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