渦街流量計

主要用于工業(yè)管道介質(zhì)流體的流量測量,如氣體、液體、蒸氣等多種介質(zhì)。其特點(diǎn)是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無(wú)可動(dòng)機械零件，因此可靠性高,維護量小。儀表參數能長(cháng)期穩定。本儀表采用壓電應力式傳感器,可靠性高,可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內工作。有模擬標準信號,也有數字脈沖信號輸出,容易與計算機等數字系統配套使用,是一種比較先進(jìn)、理想的流量?jì)x表。

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氣體流量控制器的選擇

例，真空等離子清洗機的流量控制器選擇

工藝氣體流量的穩定性，會(huì )影響工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果，大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機都是選用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現對工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機實(shí)際使用過(guò)程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機也會(huì )用到0~1SLM規格的質(zhì)量流量控制器。

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選擇氣體流量控制器時(shí)需要注意什么？

例如，真空等離子清洗機需保證真空反應腔體內的壓力穩定，所以選擇好氣體流量控制器后，還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會(huì )選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭，以此來(lái)滿(mǎn)足工藝氣體真空管路的密封。真空等離子清洗機在處理一些特殊材料的時(shí)候，可能會(huì )把液態(tài)單體作為放電介質(zhì)，就必須使用手動(dòng)浮子流量計作為流量控制器；對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計；對真空環(huán)境要求比較苛刻的，建議使用高密封性的浮子流量計。如需對液態(tài)單體進(jìn)行流量監控，也可增加氣液流量計，但需考慮單體的測量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素，可視情況進(jìn)行選擇。

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你對氣體流量控制器了解多少？

注：?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工藝氣體，建議選擇對應氣體的專(zhuān)用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩定和計量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學(xué)特性不同，使用同規格的質(zhì)量流量控制器會(huì )存在流量誤差和安全隱患。

如使用的是常規工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標準，只需保證流量穩定即可；但是對于H2、CF4等特殊氣體，可燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器。

實(shí)驗型真空等離子清洗機機，通常對流量控制要求不是非常嚴格，純手動(dòng)操作的設備，也會(huì )選用手動(dòng)浮子流量計。

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