流體控制

流體控制是利用流體的各種控制元件（各種泵、閥門(mén)、油缸）及液壓系統附件（過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等），組成控制閉式回路，以進(jìn)行自動(dòng)控制。

液壓控制 液壓控制用油液作為工作介質(zhì)，故能把由于功率的損耗而產(chǎn)生的熱量，從發(fā)生的地方帶到別處，這樣在一定的功率情況下，可以大大減小部件的尺寸；從負載的影響看，液壓系統具有機械上的剛性，用在閉環(huán)系統中，定位剛度較大，位置誤差較??；與機械機構相比，液壓執行器的響應速度較高，能高速啟動(dòng)、制動(dòng)與反向，同時(shí)其力矩—慣量比也較大，因而其加速能力較強；液壓傳動(dòng)易實(shí)現無(wú)級調速，具有自身潤滑等優(yōu)點(diǎn)。

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氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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氣體質(zhì)量流量控制器如何選擇密封材料

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

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