流量控制單元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團隊針對各大高校、科研院所的不同研究方向,為其量身打造的氣體、液體流量控制系統單元,目前大量應用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)領(lǐng)域。
FSCU可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及電磁截止閥開(kāi)關(guān),可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應用系統中,FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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氣體質(zhì)量流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個(gè)氣體流量調節閥門(mén), 閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調節到測量的滿(mǎn)量程, 在工作的過(guò)程當中, 控制器的入口和出口之間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿(mǎn)量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶(hù)工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。
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