FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應用系統中,FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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流體系統
流體系統是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對應的流動(dòng)元件集合,各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對應。流體介質(zhì)是流體系統中的流動(dòng)物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導能力及其流體的作功能力。流體系統是由各種流動(dòng)元件相互連接而成,流動(dòng)元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運元件與之相連,其流量既可能流進(jìn),也可能流出。
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質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。
對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量,這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL)
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