質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。
特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。
質(zhì)量流量計的原理
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目前,國內使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。
其原理如下:“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí),氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí),利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來(lái)測定流量?!保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組(即加熱系統)與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數; K -------儀表常數)