質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質(zhì)量流量計故障處理方法

硬件故障若出現誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現象，其原因：

a.安裝不規范，可直接導致流量計零漂，如質(zhì)量流量計安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強度不夠，連接法蘭焊接不當產(chǎn)生應力信號，電纜受電磁干擾。

b.接線(xiàn)問(wèn)題若出現顯示器不亮現象，應檢查積算器電源連線(xiàn)，若出現保險絲被燒，應確認輸入電壓與標準電壓標稱(chēng)值，交直流形式是否一致。又若出現積算器不隨流量增加時(shí)，應檢查積算器接線(xiàn)，若積算器裝有正/反向程序，應檢查流量計接線(xiàn)，因流量計接線(xiàn)不正確，會(huì )使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測量介質(zhì)出現夾氣，氣化或兩相流等現象，變送器會(huì )出現報警顯示，嚴重時(shí)，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問(wèn)題。

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