質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。
特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。
質(zhì)量流量計的測量原理
質(zhì)量流量計是采用感熱式測量,通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來(lái)測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會(huì )因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。質(zhì)量流量計是一個(gè)較為準確、快速、可靠、、穩定、靈活的流量測量?jì)x表,在石油加工、化工等領(lǐng)域將得到更加廣泛的應用,相信將在推動(dòng)流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量,通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質(zhì)量流量控制器,是可以檢測同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分,還帶有一個(gè)電磁調節閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構成一個(gè)閉環(huán)系統,用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流,或者計算機、PLC提供。
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質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC),它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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