基本功能模塊
數據分析及導出 :所有數據可按照用戶(hù)設定的時(shí)間段進(jìn)行導出,方便實(shí)驗數據分析
實(shí)時(shí)曲線(xiàn)圖,歷史曲線(xiàn)圖 : 簡(jiǎn)單直觀(guān)查看歷史曲線(xiàn)和實(shí)時(shí)曲線(xiàn),方便過(guò)程監控
自動(dòng)濃度配氣 :針對配氣實(shí)驗需要,可實(shí)現濃度自動(dòng)換算,或根據濃度值自動(dòng)分配流量
MFC故障診斷:針對不同型號的MFC可實(shí)現故障診斷、報警、處理等功能。
自動(dòng)吹掃:根據用戶(hù)需要,自動(dòng)設定吹掃時(shí)間及吹掃方式
自動(dòng)檢漏 :可通過(guò)截止閥的聯(lián)動(dòng),配以一定算法,實(shí)現自動(dòng)檢漏功能
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