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質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介
質(zhì)量流量:
以單位時(shí)間內流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業(yè)標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業(yè)標準). 標準狀態(tài)為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)
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