質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個(gè)因變量，而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質(zhì)量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟核算和貿易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿(mǎn)足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過(guò)修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質(zhì)量。這種測量方法，中間環(huán)節多，質(zhì)量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著(zhù)現代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現了一些直接測量質(zhì)量流量的計量方法和裝置，從而推動(dòng)了流量測量技術(shù)的進(jìn)步。

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質(zhì)量流量計故障處理方法

硬件故障若出現誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現象，其原因：

a.安裝不規范，可直接導致流量計零漂，如質(zhì)量流量計安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強度不夠，連接法蘭焊接不當產(chǎn)生應力信號，電纜受電磁干擾。

b.接線(xiàn)問(wèn)題若出現顯示器不亮現象，應檢查積算器電源連線(xiàn)，若出現保險絲被燒，應確認輸入電壓與標準電壓標稱(chēng)值，交直流形式是否一致。又若出現積算器不隨流量增加時(shí)，應檢查積算器接線(xiàn)，若積算器裝有正/反向程序，應檢查流量計接線(xiàn)，因流量計接線(xiàn)不正確，會(huì )使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測量介質(zhì)出現夾氣，氣化或兩相流等現象，變送器會(huì )出現報警顯示，嚴重時(shí)，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問(wèn)題。

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