要求

不銹鋼管件在現場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。整個(gè)系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統的潔凈度。供氣系統安裝完成后，根據要求進(jìn)行相關(guān)的強度測試、密封測試和穩定性測試。實(shí)驗室“氣體工程”是一項較為復雜，嚴謹的系統工程，需要專(zhuān)業(yè)的工程公司參與整體設計規劃。

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基本功能模塊

數據分析及導出 ：所有數據可按照用戶(hù)設定的時(shí)間段進(jìn)行導出，方便實(shí)驗數據分析

實(shí)時(shí)曲線(xiàn)圖，歷史曲線(xiàn)圖 ： 簡(jiǎn)單直觀(guān)查看歷史曲線(xiàn)和實(shí)時(shí)曲線(xiàn)，方便過(guò)程監控

自動(dòng)濃度配氣 ：針對配氣實(shí)驗需要，可實(shí)現濃度自動(dòng)換算，或根據濃度值自動(dòng)分配流量

MFC故障診斷：針對不同型號的MFC可實(shí)現故障診斷、報警、處理等功能。

自動(dòng)吹掃：根據用戶(hù)需要，自動(dòng)設定吹掃時(shí)間及吹掃方式

自動(dòng)檢漏 ：可通過(guò)截止閥的聯(lián)動(dòng)，配以一定算法，實(shí)現自動(dòng)檢漏功能

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氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。（比如通風(fēng)柜）。氣體管道不得和電纜、導電線(xiàn)路同架鋪設。易1燃氣體需要和其他氣體分開(kāi)單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時(shí)，其間距不應小于0.5M；交叉敷設時(shí)間距不應小于0.25M。分層敷設時(shí)氫氣管道應位于上方。

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引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門(mén)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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