右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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多點(diǎn)動(dòng)態(tài)氣體配氣儀
RM-002氣體測試儀檢定校準裝置,是由從事近40余年氣體標準物質(zhì)研究、氣體計量器具國家計量技術(shù)法規制修訂、并在本行業(yè)有豐富經(jīng)驗的構思、選材及參數設置和定量;由從事多年儀器儀表、計算機軟件研發(fā)的設計和裝配。此種原理的配氣儀比較典型的是中國計量院研發(fā)的MF-4型自動(dòng)配氣系統。研發(fā)出的裝置穩定性、重復性及線(xiàn)性,配制的標準氣體準確、可靠,易于量值傳遞和溯源,操作快捷,使用方便。
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技術(shù)優(yōu)勢
自動(dòng)調節濃度
自動(dòng)計算氣體流量
壓差和溫差不影響質(zhì)量流量測量
內部存儲校準數據
經(jīng)過(guò)多項校準,精度實(shí)際可達百分零點(diǎn)幾
同時(shí)混合8種氣體
測量和規定范圍可根據客戶(hù)要求定制
通過(guò)接口與外部PC連接控制
自動(dòng)程序控制
通過(guò)校準檢查質(zhì)量流量控制器
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