氣路系統

氣路系統主要由氣源切換系統、管道系統、調壓系統、用氣點(diǎn)、監控及報警系統組成。對于一些氣體，如氫氣、等，可能在設計和施工過(guò)程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

在現代化的實(shí)驗室中，為了完成實(shí)驗，需要用到多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣—質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，其中這些儀器需要用到高純氣體，傳統的做法是采用獨立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺儀器設備單獨配置氣體鋼瓶，分別滿(mǎn)足每臺儀器設備的使用，但隨著(zhù)近年來(lái)實(shí)驗室投資的不斷加大，儀器設備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統的供氣模式已經(jīng)難以滿(mǎn)足儀器設備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來(lái)的實(shí)驗室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實(shí)驗室的管理和維護造成了困難，為了解決以上兩個(gè)方面的問(wèn)題，就需要一套安全性高且能實(shí)現集中分配供氣的系統完成從氣源向儀器的供氣，這就是實(shí)驗室高純氣體管道系統的功能所在。

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智能氣路系統功能模塊

根據不同研究方向需求不同，智能氣路系統可以實(shí)現以下基本功能模塊：

氣體流量單獨控制：用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接設定內部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設定范圍為2%-100%F.S.

電磁截止閥單獨控制：用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開(kāi)啟

自動(dòng)分段進(jìn)氣功能：按照客戶(hù)給出的流量設定值及時(shí)間長(cháng)度自動(dòng)完成分段進(jìn)氣，客戶(hù)可針對流量實(shí)現二次編程，自動(dòng)進(jìn)氣

壓力報警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動(dòng)，用戶(hù)可自定義設定壓差上限與下限，實(shí)現壓差上限下限報警或關(guān)斷功能，保護實(shí)驗結果和氣路系統

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基本功能模塊

數據分析及導出 ：所有數據可按照用戶(hù)設定的時(shí)間段進(jìn)行導出，方便實(shí)驗數據分析

實(shí)時(shí)曲線(xiàn)圖，歷史曲線(xiàn)圖 ： 簡(jiǎn)單直觀(guān)查看歷史曲線(xiàn)和實(shí)時(shí)曲線(xiàn)，方便過(guò)程監控

自動(dòng)濃度配氣 ：針對配氣實(shí)驗需要，可實(shí)現濃度自動(dòng)換算，或根據濃度值自動(dòng)分配流量

MFC故障診斷：針對不同型號的MFC可實(shí)現故障診斷、報警、處理等功能。

自動(dòng)吹掃：根據用戶(hù)需要，自動(dòng)設定吹掃時(shí)間及吹掃方式

自動(dòng)檢漏 ：可通過(guò)截止閥的聯(lián)動(dòng)，配以一定算法，實(shí)現自動(dòng)檢漏功能

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