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氣體質(zhì)量流量計廠(chǎng)家服務(wù)為先「曉韜科技」

2021-06-21







質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準確度高

3. 無(wú)直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類(lèi)

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另質(zhì)量流量計一類(lèi)為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。



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