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天津流體系統控制單元廠(chǎng)家價(jià)格合理「在線(xiàn)咨詢(xún)」

2021-06-21






FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應用系統中，FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換，從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個(gè)氣體流量調節閥門(mén), 閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調節到測量的滿(mǎn)量程, 在工作的過(guò)程當中, 控制器的入口和出口之間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿(mǎn)量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶(hù)工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。

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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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