質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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質(zhì)量流量計的測量原理

質(zhì)量流量計是采用感熱式測量，通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來(lái)測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會(huì )因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。質(zhì)量流量計是一個(gè)較為準確、快速、可靠、、穩定、靈活的流量測量?jì)x表，在石油加工、化工等領(lǐng)域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動(dòng)流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個(gè)電磁調節閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構成一個(gè)閉環(huán)系統，用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。

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