質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質(zhì)量流量計的測量

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質(zhì)量流量計直接測量通過(guò)流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表，因此可根據上述三個(gè)基本量而導出十幾種參數供用戶(hù)使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價(jià)格比高，是新一代流量?jì)x表。

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另一類(lèi)為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計有多種類(lèi)型，如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。