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動(dòng)態(tài)校準儀公司品牌企業(yè)「曉韜科技」

2021-06-21







右側部分為氣路原理

用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成，并可通過(guò)手動(dòng)方式，控制內部截止閥（V1-V6的開(kāi)關(guān)）

INLET1 - 設備所用背景氣，一般為空氣或氮氣。

INLET2 – 原料氣，用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。

初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體，系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級配氣條件下，初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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配氣儀原理

配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器，控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過(guò)準確的設置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。

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配氣儀的原理

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利用單片機控制高速三通電磁閥，通過(guò)對兩路氣體通斷進(jìn)行選擇，從而達到調節每一路氣體的采樣量，獲得設定濃度的氣體，從而實(shí)現氣體配比。

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