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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量計的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠(chǎng)氣質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量；

8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；

9. 空調系統控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監測

13. 氣體分配系統

14. 實(shí)驗室氣體測量

15. 醫學(xué)應用

16. 燃料電池

17. 應用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。

質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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