右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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配氣儀原理
配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過(guò)準確的設置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。
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主要特點(diǎn)
標配3路進(jìn)氣通道,滿(mǎn)足電化學(xué)傳感器的混合氣體干擾測試,并可按要求擴展通道; 質(zhì)量流量控制器精度優(yōu)于1%,保證提供可靠的配氣濃度;研發(fā)出的裝置穩定性、重復性及線(xiàn)性極佳,配制的標準氣體準確、可靠,易于量值傳遞和溯源,操作快捷,使用方便。 內置精細濾芯,流量控制器的長(cháng)時(shí)間使用不需維護,保證控制精度; 大容量?jì)戎娩囯姵?,可連續使用5個(gè)小時(shí)以上。方便用戶(hù)戶(hù)外使用; 7英寸彩色液晶觸摸屏,高亮度,強光下可視,并且帶防護手套也能操作自如; 儀器內部的連接氣路采用特氟龍材質(zhì),防止氣路腐蝕或吸附; 儀器具有多重聲光報警功能,幫助用戶(hù)判斷異常情況; 儀器啟動(dòng)配氣后,也可將之前保存的配氣方案直接導入,真正實(shí)現動(dòng)態(tài)配氣,方便用戶(hù)操作。
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