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AB-13MFC Mass Flow Controller服務(wù)放心可靠「曉韜科技」

2021-06-21







質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。



流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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質(zhì)量流量計的測量

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質(zhì)量流量計直接測量通過(guò)流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表，因此可根據上述三個(gè)基本量而導出十幾種參數供用戶(hù)使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價(jià)格比高，是新一代流量?jì)x表。

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另一類(lèi)為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計有多種類(lèi)型，如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。



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