右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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質(zhì)量流量計原理
配氣儀原理
利用單片機控制質(zhì)量流量計的流量,從而實(shí)現不同氣體的配比。此種原理的配氣儀比較典型的是中國計量院研發(fā)的MF-4型自動(dòng)配氣系統.
特點(diǎn)
質(zhì)量流量計原理的配氣儀主要特點(diǎn)是配氣精度高(小于0.5%),但價(jià)格較貴。對于不同種類(lèi)的氣體,需要采用不同的配氣儀。只能配置設定出廠(chǎng)設定濃度范圍內的氣體。
配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過(guò)準確的設置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。
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自動(dòng)稀釋儀
自動(dòng)稀釋儀只需一個(gè)高濃度標準溶液,即可完成標準溶液不同濃度的梯度稀釋。單標、混標、內標、逐級稀釋多種應用模式,配制完成后自動(dòng)進(jìn)行混勻處理。樣品處理前后自動(dòng)進(jìn)行洗針操作,減少樣品的交叉污染。
智能安卓控制軟件,流程化條件設定,減少人工計算環(huán)節。體積小,適合通風(fēng)廚操作或桌面操作。四路液體通路,適用于不同液體的清洗與稀釋。
進(jìn)口注射泵,多種材質(zhì)的樣品針可選,如不銹鋼、石英、PEEK。