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動(dòng)態(tài)配氣儀概念

2021.12.10

動(dòng)態(tài)配氣儀是利用連續稀釋法將已知濃度的原料氣,以較小的流量,恒定不變地送入氣體混氣模塊中,再通過(guò)混氣模塊,同時(shí)將凈化過(guò)的背景氣體(通常使用高純N2或Air)以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。

稀釋后的混合氣連續不斷地從混氣模塊流出供使用的配氣設備。  準確計量原料氣流和背景氣流之比可得稀釋倍數?;旌蠚獾臐舛瓤珊?jiǎn)單地從稀釋倍數計算出來(lái),調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。

配氣儀的原理利用單片機控制高速三通電磁閥,通過(guò)對兩路氣體通斷進(jìn)行選擇,從而達到調節每一路氣體的采樣量,獲得設定濃度的氣體,從而實(shí)現氣體配比。