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氣體質(zhì)量流量控制器的用途

2022.05.18

 氣體質(zhì)量流量控制器可以用于控制所有各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。  

金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質(zhì)量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。


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