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動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀的原理

2022.06.22

動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀采用質(zhì)量流量控制器控制鋼瓶氣與零氣輸出不同比例的流量，從而得到準確的預先設定的混合氣體流量和濃度。采用氣體流量計以測量體積流量為基礎。體積流量是由流量計內部的截流裝置兩端的差壓所決定的，我們所使用的這種截流裝置稱(chēng)為層流部件。  

被測氣體在通過(guò)整個(gè)層流部件時(shí)被強制分流為相互平行的流層；因此我們設備的運行方式都有層流部件所決定。動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀與其他流量測量設備不同的是，層流流量計上壓降和流量是成線(xiàn)性關(guān)系，其原理都有如下等式：  Q=(P1-P2) πr4/8ηL  （Q=體積流量，P1=入口靜壓，P2=出口靜壓，r=層流元件半徑，η=流體黏度，L=層流元件長(cháng)度）  根據π，r和L是恒量；方程1可以重新寫(xiě)為：  Q＝K（ΔP/η）  

這里K由于幾何因素而是常量，方程2表示體積流量Q，差壓ΔP和粘度是一般形式氣體粘度：  為了得到的體積流量，必須選擇被測氣體類(lèi)型。這是很重要的，因為設備是按照被測氣體在測量溫度時(shí)候的粘度來(lái)計算出流量的。如果所選的氣體不是實(shí)際測量的氣體，在計算流量時(shí)候就會(huì )使用錯誤的粘度值，從而輸出不正確的結果，錯誤值正比于兩種氣體的粘度差。


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