動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀廠(chǎng)家是一種經(jīng)典的氣體稀釋與混合之手段。較之于 靜態(tài)配氣有混合均勻、平衡時(shí)間短的優(yōu)勢。 但由于使用器件較多,增加了活性氣體可能存在的吸附 衰減以及積分定量誤差的風(fēng)險。 卡佛環(huán)境使用創(chuàng )新的硅熔融表面處理技術(shù)可以使得電子 元器件擁有滅活石英玻璃同一水平的惰性;
硅烷化涂層
動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀廠(chǎng)家接觸面均使用了硅烷化涂覆,對高活性 污染物無(wú)吸附、無(wú)殘留
積分流量控制
獨有的積分積算技術(shù),可每毫秒進(jìn)行一次流量取值, 進(jìn)行積分積算;可將質(zhì)量流量計準確控制到 0.35ml/ min,并在 2%~110% 范圍具有良好線(xiàn)性響應。
自動(dòng)恒溫
在氣體動(dòng)態(tài)稀釋平衡時(shí)間:≤ 7S;工作溫度 <10℃時(shí), 沸點(diǎn)高于氯苯的物質(zhì)容易在配氣時(shí)液化,系統具自動(dòng)恒 溫功能,保證氯苯類(lèi)等高沸點(diǎn)物質(zhì)回收率 >75% 以上。