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質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

2020.06.19

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。



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