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智能氣路控制系統-曉韜科技-智能氣路控制系統哪家好

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信息詳情

右側部分為氣路原理

用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成，并可通過(guò)手動(dòng)方式，控制內部截止閥（V1-V6的開(kāi)關(guān)）

INLET1 - 設備所用背景氣，一般為空氣或氮氣。

INLET2 – 原料氣，用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。

初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體，系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級配氣條件下，初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

標準氣配氣儀系統工作原理

本裝置是一個(gè)組份氣體通過(guò)穩壓系統穩壓,通過(guò)調節閥調節，流量計計量加入另一個(gè)組份氣體中，獲得穩定的具有一定比例的混合氣。在按需調準。

設備具有壓力報警裝置.氣體壓力低于工作壓力時(shí),報警裝置報警,提醒操作員更換氣瓶或處理問(wèn)題.

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技術(shù)參數

◆ 四路進(jìn)口質(zhì)量流量控制器

◆ 儀器精度：±1%F.S。

◆ 稀釋比為：300：1（流量范圍、稀釋倍數等根據用戶(hù)要求可隨便設計及裝配）

◆ 輸出流量：1000mL/min

◆ 流量線(xiàn)性誤差：≤±0.5% F.S.

◆ 配氣不確定度：≤±1% F.S.

◆ 預熱時(shí)間：20min

◆ 環(huán)境溫度：-20℃～+55℃

◆ 環(huán)境濕度：（15~85）% RH

◆ 大氣壓力：（86~106）KPa

◆ 電源電壓：AC 220V±10% 50Hz

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