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氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。


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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。


氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)

利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來(lái)做熱源，一只用來(lái)測量流體溫度，當流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線(xiàn)性關(guān)系，再通過(guò)微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉換為測量流量信號的線(xiàn)性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機械加工技術(shù)，能實(shí)現微小流量測量和控制，其特點(diǎn)是可靠性高、重復性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應時(shí)間較快，測量精度高，無(wú)需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制


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