氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,即客戶(hù)可按照需求設定流量,MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上,即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變,也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。
氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來(lái)做熱源,一只用來(lái)測量流體溫度,當流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線(xiàn)性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉換為測量流量信號的線(xiàn)性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機械加工技術(shù),能實(shí)現微小流量測量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應時(shí)間較快,測量精度高,無(wú)需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制