氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過(guò)濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí),應在定貨時(shí)聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。
3 安裝位置問(wèn)題
本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移,可以調整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問(wèn)題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體,通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。
5 標定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí),可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)?
可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過(guò)的,不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內,也可以用手將出氣口堵死,觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過(guò),此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。