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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。


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如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過(guò)的，不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過(guò)，此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。


氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實(shí)現了MFC的功能。


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