怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
流量積算儀的優(yōu)勢
全范圍自動(dòng)溫度、壓力補償運算,補償方式任意設定zhi
線(xiàn)性積算、開(kāi)方積算任意設dao定
瞬時(shí)流量、累積流量、溫度、壓力多種參數顯示
小信號切除功能,切除范圍0-5%可選
流量積算儀的累積流量值可通過(guò)面板按鍵清零,清零操作可鎖
掉電保護功能,累積流量值掉電保持時(shí)間久,所有設定值掉電后長(cháng)久保持
先進(jìn)的模塊化結構,配合功能強大的儀表芯片,功能組合、系統升級非常方便
流量積算儀的流量按照流量模型進(jìn)行設置,如差壓式流量模型、線(xiàn)性流量模型等。
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流量積算儀——型號定義
儀表采用了先進(jìn)的模塊化設計。流量信號輸入、通訊、變送等功能可根據用戶(hù)實(shí)際需要配置不同的模塊來(lái)實(shí)現,配置靈活方便。儀表可允許安裝5個(gè)模塊。任何一臺儀表的壓力和溫度輸入方式都可以自由設置,所以溫度和壓力的輸入方式與型號無(wú)關(guān)。
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