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流體系統

流體系統是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對應的流動(dòng)元件集合，各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對應。流體介質(zhì)是流體系統中的流動(dòng)物質(zhì)，流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導能力及其流體的作功能力。流體系統是由各種流動(dòng)元件相互連接而成，流動(dòng)元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口，如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流，如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量， 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運元件與之相連，其流量既可能流進(jìn)，也可能流出。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

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