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工業(yè)流量控制器-曉韜科技(推薦商家)-工業(yè)流量控制器多少錢(qián)

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氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。


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質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無(wú)法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。


如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計（MFM）是用來(lái)測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。  當然MFC還是有檢測方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設定一個(gè)大流量，MFC會(huì )反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。


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