氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制;氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復性好。
積算儀參數設定
(1)AA:補償模式,范圍0-3。0—測量液體、等;1—測量飽和 蒸汽;2—測量過(guò)熱蒸汽;3—干燥氣體。(詳見(jiàn)流量算法表)
(2)L-Sn:設置流量輸入信號,4-20mA、0-10mA、0-20mA、1-5V、0-5V可選。
(3)KF:開(kāi)平方運算設置開(kāi)關(guān),選擇on,輸入信號與顯示值成開(kāi)方關(guān)系,選擇OFF,輸入信號與顯示值成線(xiàn)性關(guān)系,提示符on和oFF用▲或▼鍵來(lái)改變,并按SET鍵確認。
(4)tb:溫度補償設置開(kāi)關(guān),先擇on,需要溫度補償,選擇oFF,不需要溫度補償。
注:如果用戶(hù)已選擇on,即需要溫度補償,而溫度傳感器或變送器實(shí)際未接,則儀表自動(dòng)按不需要溫度補償處理,同時(shí)溫度指示燈閃爍告知。
流量積算儀常見(jiàn)故障及解決
流量積算儀量值與實(shí)際相差較大這時(shí)要認真檢查儀表的設置參數是否正確,從流量積算儀的測量介質(zhì)、補償方式到各種參數一一檢查,然后看每一種信號輸入是否正常。瞬時(shí)量跑大數在現場(chǎng)運行中,筆者曾遇到某品牌流量積算儀兩次跑大數情況,都是斷電后剛恢復的瞬間,過(guò)一會(huì )自動(dòng)正常。因此,要盡量保證儀表正常供電。