FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應用系統中,FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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流體控制
流體控制是利用流體的各種控制元件(各種泵、閥門(mén)、油缸)及液壓系統附件(過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等),組成控制閉式回路,以進(jìn)行自動(dòng)控制。
氣動(dòng)控制,動(dòng)作迅速、方便,使用的元件和工作介質(zhì)成本低,便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝,已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展,成為熱點(diǎn)之一。
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體積流量的表示方法
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
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