使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項

1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內部會(huì )阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置; 

2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內部會(huì )導致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置， 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回; 

3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開(kāi)展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會(huì )殘存腐蝕性氣體。

4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標準實(shí)際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。 

5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預熱，保證MFC在不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量處于0的位置，如果不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量顯示有一定的數值，表示傳感器出現“零漂”現象，可以先對MFC進(jìn)行調零處理，否則將影響MFC的精度。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶(hù)可按照需求設定流量，MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變，也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。

氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。