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氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。


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氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實(shí)現了MFC的功能。


壓力對于氣體質(zhì)量流量控制器影響有哪些？

市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱(chēng)節流式) 流量計是基于流體流動(dòng)的節流原理，利用流體流經(jīng)節流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現流量測量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計，熱式流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí)，其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。


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