氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò),即電磁閥漏氣??蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些
1、 分體二次數顯儀表。采用按鍵式的操作方式,測量的精度高,多款外形尺寸可選,雙四位的LED顯示,支持電流、電壓的輸入方式,可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示,適用于流量等過(guò)程量的監測,是一款非常高的產(chǎn)品。
2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計本體即可進(jìn)行流量大小的調節與顯示,除了具有精度等級高,線(xiàn)性精度好以外,操作簡(jiǎn)單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。
3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式,適合多氣路以及產(chǎn)品的集成,一鍵啟動(dòng),人機界面,具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機交互方式,用戶(hù)只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。