右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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動(dòng)態(tài)氣體配氣儀
動(dòng)態(tài)氣體配氣儀可以將高濃度標氣按照設定的稀釋比例,稀釋成各種低濃度標氣,可校準各種氣體分析儀及其氣體傳感器。廣泛適用于計量檢測,環(huán)境監測,分析儀器生產(chǎn)等單位。
儀器簡(jiǎn)介
* 質(zhì)量流量控制器,可選配3路配氣通道;
* 配氣流路采用防腐蝕,防吸附設計;
* 交直流兩用供電,可室外現場(chǎng)使用;
* 彩色觸摸屏,中文菜單化操作;
* 可配置加濕功能,配制特定含濕量的氣體
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動(dòng)態(tài)稀釋儀
動(dòng)態(tài)稀釋儀由流量控制系統、氣路控制系統和計算機控制系統組成,可將一瓶已知濃度的標氣用稀釋氣稀釋成不同含量的標準氣體濃度梯度。該過(guò)程完全自動(dòng)化操作,大幅度減少工作量并節約配氣時(shí)間。
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