氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,即客戶(hù)可按照需求設定流量,MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上,即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變,也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。
壓力對于氣體質(zhì)量流量控制器影響有哪些?
市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱(chēng)節流式) 流量計是基于流體流動(dòng)的節流原理,利用流體流經(jīng)節流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現流量測量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計,熱式流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí),其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。