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氣動(dòng)控制

氣動(dòng)控制與液壓控制相比，動(dòng)作迅速、方便，使用的元件和工作介質(zhì)成本低，便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝，已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展，成為熱點(diǎn)之一。氣動(dòng)控制的缺點(diǎn)，是運動(dòng)不平穩，有噪音，控制元件的體積較大。

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氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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