如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)?
可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過(guò)的,不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內,也可以用手將出氣口堵死,觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過(guò),此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)?
質(zhì)量流量控制器(MFC)是用來(lái)控制氣體流量的,質(zhì)量流量計(MFM)是用來(lái)測量氣體流量,如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。 當然MFC還是有檢測方法的,如果通過(guò)氣體流量比較大,壓比較大,可以為MFC設定一個(gè)大流量,MFC會(huì )反饋一個(gè)值,這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小,壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了,因為MFC壓損通常是比較大的,如果氣體流量比較小,壓力比較小就沒(méi)辦法測量了,就需要抵壓損的MFM。
氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移?
微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的,但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí),對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn),那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況,零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開(kāi)各種閥門(mén),全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多,解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題,首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整,二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移,出現這種漂移時(shí),要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用),使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內的壓力和氣流,從而達到消除零點(diǎn)漂移。