氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移，可以調整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體，通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。

氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí)，對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn)，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開(kāi)各種閥門(mén)，全部排空氣體管路，防止設備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整，二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移，出現這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用），使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口，消除管道內的壓力和氣流，從而達到消除零點(diǎn)漂移。