氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制;氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復性好。
積算儀測量范圍
雙屏LED數碼顯示,具有極寬的顯示測量范圍,可顯示整五位的瞬時(shí)流量測量值、溫壓補償測量值或出入口溫度測量值、流量(差壓、頻率)測量值等,及整十一位的流量累積測量值;測量精度為0.2%,累積精度為0.1%。具備37種信號輸入類(lèi)型,用戶(hù)可根據需求任意設置輸入類(lèi)型,可配接各種差壓信號(孔板裝置)、線(xiàn)性信號(電磁流量計)及脈沖信號(渦街流量計),可自由選擇多種補償方式(溫度補償、壓力補償、溫壓補償等)。
積算儀上電自檢
⑴按儀表的端子接線(xiàn)圖連接好儀表的電源、輸入、輸出、報警等接線(xiàn)。
⑵仔細檢查儀表的接線(xiàn),正確無(wú)誤后方可打開(kāi)電源。
⑶接通電源后儀表上排顯示HELO下排顯示PASS字樣表示儀表自檢通過(guò),如果顯示-HH-表示超量限或斷偶及熱阻開(kāi)路,儀表采用人機對話(huà)形式來(lái)輸入參數,用各種提示符來(lái)提示應輸入的數據。